設備用途

    單室立式結構的高真空鍍膜設備，可用于開發單層膜—類金剛石膜（DLC）等。類金剛石膜具有紅外光譜透過率高、硬度高、摩擦系數小、化學穩定性好等優點，可以作為多種光學材料的增透率和?；つ?，起到抗磨損、抗腐蝕、抗潮解和抗氧化的作用。適用于批量生產紅外透鏡的軍工及光學鏡片廠家。

設備組成

    主要由鍍膜室、靶電極、射頻電源、電磁線圈及控制電源、泵抽系統、真空測量系統、電控系統、氣路系統、水路系統等組成。

樣片

技術指標